Neuigkeiten aus der Welt der Keramikindustrie

Halbleiter rekristallisierte Silizium -Carbid -Waferboot

2025-08-05

Ingenieur Keramik CO., (EC © ™) Bericht:

Die Engineering Ceramic Co bietet stolz 3 verschiedene materielle Arten von Silizium -Carbid -Waferbooten, die jeweils auf die anspruchsvollen Bedürfnisse fortschrittlicher Industrien zugeschnitten sind.

Recrystallized Silicon Carbide

Recrystallized Silicon Carbide

Rekristallized Siliciumcarbid (RSIC) Waferboot mit CVD-Sic-Beschichtung

Unser rekristallisiertes Silizium -Carbid -Waferboot zeichnet sich mit seinem hoch entwickelten Herstellungsprozess aus. Das Boot wird akribisch hergestellt, indem es in einzelne Einheitenteile unterteilt, separat gesintert und sie mit einem Kieselsäurekleber verbindet. Diese Teile werden dann durch Hochtemperaturbrennungen in eine einzelne robuste Struktur verschmolzen, gefolgt von der Anwendung einer präzisionsübergreifenden CVD-Sic-Keramikbeschichtung (100 µm ± 1 µm dick). Diese Beschichtung ist wesentlich, da die inhärente Porosität des rekristallisierten Materials ansonsten zu einer Partikelverunreinigung während des Betriebs führen würde. Im Gegensatz zu Graphitprodukten mit CVD-Sic-Beschichtungen eliminiert unser RSIC-Waferboot den Mismatchaklus der thermischen Expansionskoeffizienten (CTE) und sorgt für eine zuverlässige Lebensdauer von 2 bis 3 Jahren. Der komplizierte Prozess, die verlängerte Produktionszeit und die erhöhten Kosten spiegeln jedoch die Prämienqualität dieses Produkts wider.

Recrystallized Silicon Carbide

Reaktion mit Siliziumcarbid (RBSIC) Waferboot

Das reaktionsgebundene Siliziumcarbid (RBSIC) -Waferboot, das auch als Silicon-infiltrated SIC (Sisic) bekannt ist, liefert eine außergewöhnliche Oberflächendichte mit einer Porosität von weniger als 0,1%und negiert die Notwendigkeit zusätzlicher CVD-Keramikbeschichtungen. Dieses Boot wird hergestellt, indem SIC- und Si -Pulver in Form gebracht, sie in eine zusammenhängende Einheit gesintert und mit Präzisions -CNC -Bearbeitung fertiggestellt wird. Während SICs Härte und Sprödigkeit Herausforderungen darstellen - was zu einer höheren Schrottrate und erhöhten Produktionskosten zurückzuführen ist, ist das Ergebnis ein dauerhaftes Produkt. Im Vergleich zu Quartz, das durch segmentierte Verarbeitung und Schmelzen niedrigere Kosten bietet, enthält RBSIC 10–15% freie SI und begrenzt seine maximale Betriebstemperatur auf unter 1350 ° C (den Schmelzpunkt von SI). Zusätzlich kann seine Anfälligkeit für HF -Korrosion zu Partikelverunreinigungen führen, ein Faktor für bestimmte Anwendungen.

Recrystallized Silicon Carbide

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Sintered Silicon Carbid (SSIC) Waferboot

Unser Sintered Silicon Carbid (SSIC) -Waferboot, das aus Druck ohne Reinheit von 99,5% min hergestellt wurde, repräsentiert den Höhepunkt der Leistung. Der Herstellungsprozess-Casting, Sintering und CNC-Bearbeitung-kulminiert in einer Baugruppe, die mit benutzerdefinierten SSIC-Schrauben, Muttern und Stiften befestigt ist und die ladentragende Festigkeit optimiert. Mit praktisch null Porosität benötigt dieses Boot keine zusätzlichen Beschichtungen und ist gegen Partikelverunreinigungen immun. Es zeichnet sich unter extremen Bedingungen aus, unterstützt eine maximale Betriebstemperatur von 1600 ° C und über 1800 ° C in Vakuumumgebungen. Das SSIC-Waferboot ist bekannt für seinen überlegenen Korrosionsbeständigkeit, insbesondere in hochtemperaturgeleiteten und harten, korrosiven Umgebungen und bietet eine beeindruckende Lebensdauer von über 5 Jahren und macht es zu einer idealen Wahl für die anspruchsvollsten Anwendungen.

Recrystallized Silicon Carbide

Im Verlauf von mehr als 20 Jahren SIC -Produktherstellung hat die EC umfangreiche Produktionserfahrung und praktisches Fachwissen gesammelt. Wir liefern unseren Kunden stabile Produkte, zuverlässige technische Support und einen ununterbrochenen Service rund um die Uhr. Detaillierte Produkthandbücher, technische Anfragen, Preisgestaltung und Inventarinformationen erhalten Sie uns bitte mit uns.

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