Ingenieur Keramik Inc. (EC © ™) Bericht:
ECVakuumausbau- Technische Zusammenfassung
EC ist spezialisiert auf leistungsstarke Vakuum -Vorgänge wie:
✔ Keramikisolator für Ultra -Hochspannungsisolierung (al₂o₃/aln)
✔ Vakuum -Löttechnologie (Leckquote <10⁻⁹ Mbar · l/s)
✔ luftdichte Versiegelung für Turbo -Molekularpumpen/Ionenpumpen (UHV/XHV -kompatibel)
✔ Benutzerdefinierte Konfigurationen für Halbleiter-, Luft- und Raumfahrt- und Forschungsanwendungen
Tabelle 1: Klassifizierung basierend auf dem Betriebsprinzip
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Arten |
Operationstheorie |
Final Vakuum (PA) |
Hauptmerkmale |
Hauptnutzungen |
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Rotationsschaufelpumpe |
Übergang mit einem rotierenden Van |
1e-1 ~ 1e2 |
Öldichtentyp, Wartung erforderlich |
Spann-/Rückpumpe |
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Trockener Bildlaufpumpe |
Gaskompression durch Orbitalspiralen |
1E-2 ~ 1E1 |
Ölfreie, niedrige Vibration |
Laborausrüstung |
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Wurzelgebläse |
Gastransport mit Zähler rotierende Lappen |
1e-1 ~ 1e3 |
Hoher Durchsatz, oft mehrstufig |
Industrial Vakuumsystem |
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Öldiffusionspumpe |
Übertragung mit Dampfstrahlimpuls |
1E-7 ~ 1E-4 |
Keine beweglichen Teile, kalte Fallen erforderlich |
E-Strahl-Ablagerung |
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Molekularpumpe Turbo |
Hochgeschwindigkeitsrotor (> 60 krpm) kollidiert mit Molekülen |
1E-9 ~ 1E-6 |
Sauberkeit, Schwingungsempfindlichkeit |
UHV Science Machine |
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Kryogene Pumpe |
Gaskondensation auf <20K -Oberflächen |
<1e-10 |
Maximales Vakuum und regelmäßige Regeneration erforderlich |
Raumumgebungssimulation |
Tabelle 2: Klassifizierung nach Vakuumebene
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Vakuumbereich |
Druck (PA) |
Optimaler Pumpentyp |
Technische Überlegungen |
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Grobes Vakuum |
1e5 ~ 1e2 |
Rotary Vane, Membran |
Hochdruckunterstützung mit Gasballast |
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Niedriges Vakuum |
1e2 ~ 1e-1 |
Wurzeln + Rotary Schaufel |
Geschwindigkeit vs. Stromeffizienz |
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Hohes Vakuum |
1E-1 ~ 1E-7 |
Diffusion, |
Backstream -Prävention |
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Ultrahohe Vakuum (UHV) |
1E-7 ~ 1E-10 |
Ion, Kryopump |
Materialauswahl ist wichtig |
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Extrem hohes Vakuum |
<1e-10 |
Hybrid-Ion-Cryosystem |
Quantenebene Umgebung |
Schlüsselauswahlkriterien
1. Final Vacuum Level
Die erforderliche Vakuumebene muss die Prozessspezifikationen erfüllen. Zum Beispiel:
- In der Herstellung von Halbleiter sind in der Regel Vakuumwerte unter 10 ° C erforderlich.
- In industriellen Prozessen kann es effektiv im Bereich von 10 ° bis 10² pa funktionieren
2. Pumpgeschwindigkeit
Gemessen in Litern pro Sekunde (l/s) oder Kubikmeter pro Stunde (m³/h)
Wählen Sie die richtige Größe für Ihre Kammerkapazität und Gasbelastung
Hochdurchsatzanwendungen (z. B. Vakuumöfen) können 1.000+ m³/h benötigen
3.. Gas und chemische Verträglichkeit
- Standardverwendung: Standardmaterialien (Edelstahl, Aluminium)
- Korrosive Umgebung: Spezielle Materialien sind erforderlich, zum Beispiel:
- PTFE -Beschichtungsteile (für säurebeständige)
- Hastelloy oder Nickellegierung (für starke Chemikalien wie Chlor)
4. Energieeffizienz und Wartung
- Öldichtungspumpe:
- Niedrige anfängliche Kosten
- Es sind regelmäßige Ölwechsel erforderlich (alle 2.000 bis 4.000 Stunden)
- Das Risiko einer Ölkontamination durch empfindliche Prozesse
- Trockene (ölfreie) Pumpe:
- hohe anfängliche Investition
- Keine Wartung erforderlich (kein Ölwechsel)
- Für saubere Prozesse (z. B. Medikamente, Lebensmittel) empfohlen
Die in diesem Text behandelte Hauptterminologie lautet wie folgt:
1. Vakuumdicht - eine Vakuumdichtung, eine Finger -Vakuumversiegelungstechnologie und eine Vakuumvorführung sind wirksam (Versiegelungsanschluss).
2. Durch-durch-Teil (かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ かんつうぶ durch durch through bezieht
3..
4. Vakuumanschluss - Vakuumanschluss, Vakuumanschluss unter Luft und die Fähigkeit, auf Vorschub zuzugreifen.
5. Isolationsdurchdringung - Fähigkeit zur Durchführung während der Vakuumausführung.
Diese Wörter entsprechen nicht vollständig zu "Vakuumausführungen", können jedoch unter bestimmten Umständen als Annäherungen oder verwandte Begriffe verwendet werden. Welche Sprache zu verwenden ist, hängt von technischen Details und Branchennormen ab. Daher wird empfohlen, dass Sie sich auf die relevante Fachliteratur beziehen oder einen Experten konsultieren, um die Genauigkeit zu gewährleisten.
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