Ingenieur Keramik CO., (EC © ™) Bericht:
EC -Vakuum -Vorgänge - Technische Übersicht
EC ist spezialisiert auf Hochleistungs-Vakuum-Vorgänge mit:
✔ Keramikisolatoren(Al₂o₃/aln) für die ultrahoch-hohe Spannungsisolierung
✔ Vakuum -Löttechnologie (Leckquote <10⁻⁹ Mbar · l/s)
✔ Hermetische Versiegelung für turbomolekulare/Ionenpumpen (UHV/XHV -kompatibel)
✔ Benutzerdefinierte Konfigurationen für Halbleiter-, Luft- und Raumfahrt- und Forschungsanwendungen
Tabelle 1: Klassifizierung durch Arbeitsprinzip
Tabelle 2: Klassifizierung nach Vakuumebene
Schlüsselauswahlkriterien
1.Anter Vakuumniveau
Die erforderliche Vakuumebene sollte den Prozessspezifikationen übereinstimmen. Zum Beispiel:Semiconductor ManufacturingIn der Regel können Vakuumwerte unter 10 ° C -Industrieprozessen im Bereich von 10 ° bis 10² PA -Bereich effektiv funktionieren
2. Geschwindigkeit
Gemessen inLiter pro Sekunde(L/s) oderKubikmeter pro Stunde(m³/h) muss für das Kammervolumen und die Hochdurchsatzanwendungen des Kammervolumens und die Gasbelastung (z. B. Vakuumöfen) angemessen dimensioniert sein
3.Gas & chemische Kompatibilität
● Standardanwendungen:Standardmaterialien (Edelstahl, Aluminium)
● ätzende Umgebungen:Erfordert spezielle Materialien wie:
● PTFE-beschichtete Komponenten (für Säurebeständigkeit)
● Hastelloy- oder Nickellegierungen (für aggressive Chemien wie Chlor)
4. Effizienz und Wartung von Einführung
Ölversiegelte Pumpen:
● Niedrigere Anfangskosten
● Erfordern Sie regelmäßige Ölwechsel (alle 2.000 bis 4.000 Stunden)
● Risiko einer Ölverschmutzung in empfindlichen Prozessen
Trockene (ölfreie) Pumpen:
● Höhere anfängliche Investition
● Wartungsfreier Betrieb (keine Ölwechsel)
● bevorzugt für saubere Prozesse (z. B. Pharmazeutika, Lebensmittel)
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